[发明专利]气压装置离线检测系统和方法无效
| 申请号： | 200710039429.1 | 申请日： | 2007-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN101285725A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 叶文君;李宗斌 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气压装置离线检测系统和方法，所述系统包括一控制装置，用于产生一控制讯号；一讯号传输模块，与该控制装置相连接，用以传出该控制讯号；一气压装置调节模块，用于接收该控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由该讯号传输模块传送给该控制装置，而该控制装置将该回馈讯号运算处理，进而纪录该气压装置调节模块之作动状况结果，以呈现出故障分析报告。本发明可将之前只能以在线状态下测试的项目作离线处理和模拟分析和检测气压装置的工作状况，并可透过提供各种不同的试验数据，以作出故障分析的报告，进而提升成品率与效率，且有效节省成本，并达到预防性保养的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 气压 装置 离线 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、 一种气压装置离线检测系统，其特征在于包括：一控制装置，用于产生一控制讯号；一讯号传输模块，与该控制装置相连接，用以传出该控制讯号；以及一气压装置调节模块，用于接收该控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由该讯号传输模块传送给该控制装置，而该控制装置将该回馈讯号运算处理，进而纪录该气压装置调节模块之作动状况结果，以呈现出故障分析报告。
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