[发明专利]光学近距修正的方法

摘要

一种光学近距修正的方法，包括：对待曝光辅助图形的临界尺寸范围采样取值，获得临界尺寸范围离散值，对待曝光辅助图形与待曝光图形的距离范围采样取值，获得距离范围离散值；将所有的临界尺寸范围离散值与所有距离范围离散值进行组合形成离散值组合对；选取离散值组合对，根据与待曝光图形的距离取值，将对应的待曝光辅助图形放入待曝光图形周围；对待曝光图形进行光学近距修正；仿真待曝光图形在失焦和曝光能量偏移情况下在晶圆上的边缘布置误差；选取边缘布置误差最小的离散值组合对，将对应的待曝光辅助图形与待曝光图形转移至光罩上。经上述步骤，选取与待曝光图形距离最佳且临界尺寸最佳的待曝光辅助图形需要的时间短。

主权项

1.一种光学近距修正的方法，其特征在于，包括下列步骤：a.对待曝光辅助图形的临界尺寸范围采样取值，获得临界尺寸范围离散值，对待曝光辅助图形与待曝光图形的距离范围采样取值，获得距离范围离散值；b.将所有的临界尺寸范围离散值与所有距离范围离散值进行组合形成离散值组合对；c.选取一个未使用的离散值组合对，根据与待曝光图形的距离取值，将对应的待曝光辅助图形放入待曝光图形周围；d.对待曝光图形进行光学近距修正；e.仿真待曝光图形在失焦和曝光能量偏移情况下在晶圆上的边缘布置误差；f.如有剩余的离散值组合对，则重复c～e步骤；如没有，比较各离散值组合对的待曝光辅助图形对应的边缘布置误差；g.选取边缘布置误差最小的离散值组合对，将对应的待曝光辅助图形与待曝光图形转移至光罩上。