[发明专利]互连线失效检测方法有效
| 申请号： | 200710040250.8 | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101295002A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王剑屏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种互连线失效检测方法，包括，将至少两个以上具有相同互连线规模的互连线单元串接起来构成失效探测电路；向失效探测电路输入测试电流，并测量失效探测电路两端的电压；如果所测得的电压大于或等于设定电压值时，则失效探测电路中出现互连线失效；将出现互连线失效的失效探测电路的输入与输出相连构成惠斯通电桥；向惠斯通电桥输入电流，测量惠斯通电桥的中点上的电流方向，并根据电流方向来定位失效互连线的位置。本发明互连线失效检测方法不但能够快速检测到互连线失效的现象，还能够快速定位出现失效的互连线位置。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 失效 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种互连线失效检测方法，其特征在于，包括，将至少两个以上具有相同互连线规模的互连线单元串接起来构成失效探测电路；向失效探测电路输入测试电流，并测量失效探测电路两端的电压；如果所测得的电压大于或等于设定电压值时，则失效探测电路中出现互连线失效。
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