[发明专利]光刻机照明均匀性补偿片的制造方法

摘要

本发明公开了一种光刻机照明均匀性补偿片的制造方法，包括以下步骤：将补偿片按照补偿空间分辨率划分成网格状区域；确定每一个小格需要的透射率补偿量及其点子分布密度；确定点子的等效截面面积；在补偿片设计版图上根据点子的等效截面不相交叠的原则随机放置新的点子；当同样尺寸的点子按上述原则已经无地方放置，但是补偿量还不足时，将点子缩小尺寸再放置，并将变化计入透射率，重复上述过程直到完成补偿片设计版图；将制成的补偿片设计版图输入掩膜板制作设备，将补偿片基板放入制作设备，在基板上生成图形制成补偿片。本方法制造的补偿片能避免出现透明基板上分布的不透明的点子之间的近距离接触并交叠，提高补偿片的补偿效果和精度。

主权项

1、一种光刻机照明均匀性补偿片的制造方法，其特征是，包括以下步骤：步骤一、将补偿片按照补偿空间分辨率划分成网格状区域；步骤二、确定每一个网格需要的为了补偿照明均匀性的透射率补偿量；步骤三、根据每一个网格需要的补偿量确定每一个网格的点子分布密度；步骤四、确定点子的等效截面面积；步骤五、在补偿片设计版图上根据新加的点子的等效截面同已经放置的所有点子的等效截面不相交叠的原则随机放置新的点子；步骤六、当同样尺寸的点子按上述原则已经无地方放置，但是补偿量还没有达到需要的最大补偿量时，将点子按照一定比例缩小尺寸，再按步骤五的方法放置，并且将变化计入透射率，如果还不能达到需要的最大补偿量，再缩小一定比例放置，直到完成补偿片设计版图；步骤七、将制成的补偿片设计版图输入掩膜板制作设备，将补偿片基板放入制作设备，在基板上生成图形，制成补偿片。