[发明专利]挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪

摘要

一种微机电系统领域的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，包括：转子、定子、挠性梁，转子由基体和注有金属流体的环形腔体构成，环形腔体中的金属流体在旋转驱动线圈所施加的旋转磁场的作用下旋转，产生角动量；转子与定子通过挠性梁连接为一体，挠性梁会随着转子和定子相对位置的偏移而发生相应的变形；定子包括第二基体、旋转驱动线圈、检测电极、反馈加矩静电电极与挠性补偿静电电极。本发明使用金属流体的高速转动使转子产生角动量，没有刚性结构之间的相对转动，通过挠性补偿静电电极和转子之间由静电感应所产生的静电力力矩消除挠性梁变形带来的干扰力矩的影响，并使用反馈加矩静电电极对转子进行反馈控制。

主权项

1、一种挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，包括：转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；所述的转子(1)包括第一基体(8)和环形腔体(9)，环形腔体(9)位于第一基体(8)内；所述的定子(3)包括第二基体(10)、旋转驱动线圈(4)、检测电极(5)、反馈加矩静电电极(6)与挠性补偿静电电极(7)，在第二基体(10)上由内到外分布着八个旋转驱动线圈(4)、八个检测电极(5)、八个反馈加矩静电电极(6)、八个挠性补偿静电电极(7)，八个旋转驱动线圈(4)在圆周方向上呈对称分布，旋转驱动线圈(4)位于定子(3)的最靠近中心的位置，在旋转驱动线圈(4)的外侧分布着八个检测电极(5)，八个检测电极在圆周方向上呈对称分布，四对反馈加矩静电电极(6)和四对挠性补偿静电电极(7)在圆周方向都呈对称分布。