[发明专利]挠性硬磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪无效

专利信息
申请号: 200710041464.7 申请日: 2007-05-31
公开(公告)号: CN101055183A 公开(公告)日: 2007-10-17
发明(设计)人: 张卫平;周海军;陈文元 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01C19/02 分类号: G01C19/02;G01C19/06;G01C19/12
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 王锡麟;王桂忠
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种微机电系统领域的挠性硬磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪,包括:转子、定子、挠性梁、挠性补偿硬磁圆环,挠性补偿硬磁圆环处于转子上表面,并与转子相连。转子由基体和注有金属流体的环形腔体构成,转子与定子通过挠性梁连接为一体,挠性梁会随着转子和定子相对位置的偏移而发生相应的变形;定子包括第二基体、旋转驱动线圈、检测电极、反馈加矩线圈与挠性补偿静电电极。本发明使用流体的高速转动使转子产生角动量,没有刚性结构之间的相对转动,通过挠性补偿硬磁极板和挠性补偿硬磁圆环之间产生的磁力矩消除挠性梁变形带来的干扰力矩的影响,并使用反馈加矩线圈对转子进行反馈控制。
搜索关键词: 挠性硬磁 补偿 线圈 流体 陀螺仪
【主权项】:
1、一种挠性硬磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪,包括:转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)、挠性补偿硬磁圆环(4),其特征在于,转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体,挠性补偿硬磁圆环(4)与转子(1)相连,位于转子(1)的上表面;转子(1)包括第一基体(9)和环形腔体(10),环形腔体(10)位于第一基体(9)内;定子(3)包括第二基体(11)、旋转驱动线圈(5)、检测电极(6)、反馈加矩线圈(7)与挠性补偿硬磁极板(8),在第二基体(11)上由内到外分布着八个旋转驱动线圈(5)、八个检测电极(6)、四个反馈加矩线圈(7)、四个挠性补偿硬磁极板(8),其中反馈加矩线圈(7)、挠性补偿硬磁极板(8)处于同一个以定子3中心为圆心的圆环上,并且反馈加矩线圈7与挠性补偿硬磁极板8彼此交替,反馈加矩线圈(7)、挠性补偿硬磁极板(8)的内径和外径分别相同,旋转驱动线圈(5)位于定子(3)的最靠近中心的位置,八个旋转驱动线圈(5)在圆周方向上呈对称分布,八个检测电极(6)在圆周方向上呈对称分布,在旋转驱动线圈(5)的外侧分布着八个检测电极(6),四个反馈加矩线圈(7)和四个挠性补偿硬磁极板(8)在圆周方向都呈对称分布。
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