[发明专利]挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪

摘要

一种微机电系统领域的挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪，包括：转子、定子、挠性梁，转子由基体和注有金属流体的环形腔体构成，定子包括第二基体、旋转驱动线圈、检测电极、反馈加矩线圈与挠性补偿硬磁极板，在第二基体上由内到外分布着八个旋转驱动线圈、八个检测电极、四个反馈加矩线圈、四个挠性补偿硬磁极板，其中反馈加矩线圈、挠性补偿硬磁极板处于同一个以定子中心为圆心的圆环上，通过挠性梁把定子与转子连为一体。本发明使用金属流体的高速转动使转子产生角动量，没有刚性结构之间的相对转动，通过挠性补偿硬磁极板和转子之间产生的磁力矩消除挠性梁变形带来的干扰力矩的影响，并使用反馈加矩线圈对转子进行反馈控制。

主权项

1、一种挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪，包括：转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；转子(1)包括第一基体(8)和环形腔体(9)，环形腔体(9)位于第一基体(8)内，环形腔体(9)中注有金属流体，环形腔体(9)中的金属流体在旋转驱动线圈(4)所施加的旋转磁场的作用下高速旋转，产生角动量；定子(3)包括第二基体(10)、旋转驱动线圈(4)、检测电极(5)、反馈加矩线圈(6)与挠性补偿硬磁极板(7)，在第二基体(10)上由内到外分布着八个旋转驱动线圈(4)、八个检测电极(5)、四个反馈加矩线圈(6)、四个挠性补偿硬磁极板(7)，其中反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)处于同一个以定子中心为圆心的圆环上，并彼此交互，反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)的内径和外径分别相同，旋转驱动线圈(4)位于定子(3)的最靠近中心的位置，八个旋转驱动线圈(4)在圆周方向上呈对称分布，在旋转驱动线圈(4)的外侧分布着八个检测电极(5)，八个检测电极(5)在圆周方向上呈对称分布，四个反馈加矩线圈(6)和四个挠性补偿硬磁极板(7)在圆周方向都呈对称分布。