[发明专利]流体与旋转驱动挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩微陀螺仪

摘要

一种微机电系统领域的流体与旋转驱动挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩微陀螺仪，包括：转子、定子、挠性梁，转子由旋转驱动线圈、绝缘层、角动量层构成，而角动量层又由基体和注有金属流体的环形腔体构成。定子包括第一基体、检测电极、反馈加矩线圈、挠性补偿硬磁极板，通过挠性梁把定子与转子连为一体。本发明使用金属流体的高速转动使转子产生角动量，没有刚性结构之间的相对转动，通过挠性补偿硬磁极板和转子之间产生的磁力矩消除挠性梁变形带来的干扰力矩的影响。在转子上加工旋转驱动线圈，旋转驱动线圈与转子成为一体，有效减小由旋转驱动线圈产生的磁场对转子所造成的干扰，并使用反馈加矩线圈对转子进行反馈控制，采用单定子结构。

主权项

1、一种流体与旋转驱动挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩微陀螺仪，包括：转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；转子(1)包括旋转驱动线圈(8)、绝缘层(9)、角动量层(10)构成，角动量层(10)又由第二基体(11)和环形腔体(12)构成，绝缘层(9)设于角动量层(10)的上表面，旋转驱动线圈(8)设于绝缘层(10)的上表面，旋转驱动线圈(8)在以转子(1)的中心为圆心的圆周方向上呈对称分布，环形腔体(12)位于第二基体(11)内，第二基体(11)用软磁作材料；定子(3)包括第一基体(4)、检测电极(5)、反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)，在第一基体(4)的上表面的内侧分布着检测电极(5)，第一基体(4)的上表面的外侧分布着反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)，其中反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)处于同一个以定子(3)中心为中心的圆环上，反馈加矩线圈(6)、挠性补偿硬磁极板(7)的内径和外径分别相同，反馈加矩线圈(6)与挠性补偿硬磁极板(7)互相交替，八个检测电极(5)在圆周方向上呈对称分布，四个反馈加矩线圈(6)和四个挠性补偿硬磁极板(7)在圆周方向都呈对称分布。