[发明专利]一种气动控制装置及方法有效
| 申请号： | 200710041768.3 | 申请日： | 2007-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101071310A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 胡海峰;李若庆;王文刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/02 | 分类号： | G05D16/02;G05D16/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种气动控制装置和方法，该气动控制装置包括真空气囊、流量控制器、传输气路、单向节流阀、吸盘、传感器、模/数及数/模转换电路和控制器，真空气囊通过流量控制器连接到一真空泵，吸盘通过传输气路连接到真空气囊，传输气路和吸盘间接有单向节流阀，用于吸盘开合时传输气路上的气压控制，真空气囊和传输气路上均连接有传感器，传感器的输出通过模/数转换作为控制器的输入，控制器的输出指令通过数/模转换控制流量控制器。本发明还提供了一种气动控制方法。采用本发明的装置不仅能实现压力(负压)、流量的控制，而且气路设计能保证多个吸盘开合时的相互独立性，另外也避免了真空开启吸盘时导致的真空泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气动 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种气动控制装置，其特征在于：所述的气动控制装置包括真空气囊、流量控制器、传输气路、单向节流阀、吸盘、传感器、模/数及数/模转换电路和控制器，真空气囊通过流量控制器连接到一真空泵，吸盘通过传输气路连接到真空气囊，传输气路和吸盘间接有单向节流阀，用于吸盘开合时传输气路上的气压控制，真空气囊和传输气路上均连接有传感器，传感器的输出通过模/数转换作为控制器的输入，控制器的输出指令通过数/模转换控制流量控制器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710041768.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
