[发明专利]石英波片厚度的测量装置和测量方法

摘要

一种石英波片厚度的测量装置和测量方法，该装置由装置主体、接口卡和计算机构成，所述的装置主体包括激光束、该激光束经光束引导镜分成透射光束和反射光束，在透射光束方向是监测器，在反射光束方向依次是起偏器、待测波片置放台、检偏器和检测器，所述的监测器、待测波片置放台、检偏器和检测器通过屏蔽电缆经接口卡与计算机相连接。利用本发明装置可对石英波片厚度进行自动测量，该测量方法不需要预先确定石英波片光轴方向，只需要一种波长的激光光源，就能以较高的测量精度和速度测出所处实际环境温度下波片的厚度。并可给出该波片任一波长和环境温度下的相位延迟量。

主权项

1、一种石英波片厚度的测量装置，其特征在于该装置由装置主体(1)、接口卡(2)和计算机(3)构成，所述的装置主体(1)包括激光束(1-1)，该激光束(1-1)经光束引导镜(1-2)分成透射光束和反射光束，在透射光束方向是监测器(1-3)，在反射光束方向依次是起偏器(1-4)、待测波片置放台(1-5)、检偏器(1-6)和检测器(1-7)，所述的监测器(1-3)、待测波片置放台(1-5)、检偏器(1-6)和检测器(1-7)通过屏蔽电缆经接口卡(2)与计算机(3)相连接。