[发明专利]双模式反磁敏感质量微加速度计无效
| 申请号： | 200710042302.5 | 申请日： | 2007-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101109764A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/14 | 分类号： | G01P15/14;G01C19/02;G01C19/24 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电系统领域的双模式反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，所述下定子中，下定子侧向静电电极分布在下定子基体的顶面的最外围，且沿圆周分布，下定子十字分隔结构沿下定子基体表面几何结构的中线位置分布，将下定子基体的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着下定子永磁块；所述上定于中，上定子十字分隔结构沿上定子基体表面几何结构的中线位置分布，将上定子基体的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着上定子永磁块。本发明降低了转子的起支过程和起支控制难度，可同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 双模 式反磁 敏感 质量 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种双模式反磁敏感质量微加速度计，由上定子(1)、转子(3)和下定子(2)构成，上定子(1)倒扣在下定子(2)上，上定子(1)和下定子(2)两个顶面相对，从而形成空腔，转子(3)则悬浮在此空腔内，其特征在于：所述下定子(2)包括下定子侧向静电电极(6)、下定子基体(7)、下定子十字分隔结构(8)、下定子永磁块(9)，下定子侧向静电电极(6)分布在下定子(2)顶面的最外围，且沿圆周分布；在下定子基体(7)的底面，下定子十字分隔结构(8)沿下定子基体(7)表面几何结构的中线位置分布，将下定子基体(7)的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着下定子永磁块(9)；所述上定子(1)包括上定子基体(12)、上定子十字分隔结构(13)、上定子永磁块(14)，在上定子结基体(12)的底面，上定子十字分隔结构(13)沿上定子基体(12)表面几何结构的中线位置分布，将上定子基体(12)的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着上定子永磁块(14)。
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