[发明专利]炉管的清洗方法和系统有效
| 申请号： | 200710042340.0 | 申请日： | 2007-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101327487A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 赵星;宋海;李春龙;陈晓丽 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 公开了一种炉管的清洗方法和系统，将氮气通入清洗剂槽，利用氮气携带所述清洗剂经一管路通入所述炉管，对所述炉管进行清洗；将氢气和氧气混合生成水蒸汽后通入炉管对所述炉管进行清洗。本发明的炉管清洗方法能够有效地去除半导体氧化炉管设备中炉管内部的金属和非金属杂质沉积物。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 清洗 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种炉管的清洗方法，包括下列步骤：将氮气通入清洗剂槽，利用氮气携带所述清洗剂经一管路通入所述炉管，对所述炉管进行清洗；将氢气和氧气混合生成水蒸汽后通入炉管对所述炉管进行清洗。
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