[发明专利]制程排放水的回收系统及方法有效
| 申请号： | 200710043277.2 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101333015A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 汪建德;安志军;盛黎君 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/44 | 分类号： | C02F1/44;C02F1/38 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制程排放水的回收系统，该系统至少包括浓缩池，回收水槽以及离心机；浓缩池内置微滤膜组，微滤膜组充分浓缩排放水以形成浓缩液注入离心机，同时排放出清水注入回收水槽；离心机对浓缩液进行固液分离，固体累积在离心机内部的分离管。本发明还提供一种制程排放水的回收方法。与现有技术相比，本发明的回收系统和回收方法可以充分利用制程的排放水，有效节约资源，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制程排 放水 回收 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制程排放水的回收系统，其特征在于：该系统至少包括浓缩池，回收水槽以及离心机；浓缩池内置微滤膜组，微滤膜组充分浓缩排放水以形成浓缩液注入离心机，同时排放出清水注入回收水槽；离心机对浓缩液进行固液分离，固体累积在离心机内部的分离管。
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