[发明专利]垂向微调及重力补偿装置与光刻机有效
| 申请号： | 200710043324.3 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101082775A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王天明;袁志扬;蔡良斌;严天宏;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种垂向微调及重力补偿装置，且使用该垂向微调及重力补偿装置的光刻机。本发明的垂向微调及重力补偿装置，包括用于支撑物体的静态重量的重力补偿器，位于重力补偿器上的驱动装置，该驱动装置对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。采用本发明的垂向微调及重力补偿装置能达到精确的位置控制，同时可以实现垂向三自由度方向的微调整和定位。 | ||
| 搜索关键词： | 微调 重力 补偿 装置 光刻 | ||
【主权项】：
1、一种垂向微调及重力补偿装置，其特征在于，包括：重力补偿器，用于支撑物体的静态重量；位于重力补偿器上的驱动装置，对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。
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