[发明专利]不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法无效
| 申请号： | 200710043509.4 | 申请日： | 2007-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN101082131A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 马占吉;赵栋才;任妮;武生虎;肖更竭 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/22;C23C14/06;C23C14/52;C23C16/34;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利事务所 | 代理人： | 徐筱梅 |
| 地址： | 73003*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，特点是采用脉冲电弧离子镀膜技术在金属表面镀制类金刚石薄膜，其具体步骤包括：将金属工件表面离子活化，镀制钛过渡层、碳化钛过渡层、及碳氮化钛过渡层，在碳氮化钛过渡层上镀制类金刚石薄膜。本发明提高了不锈钢的金属基底上类金刚石(DLC)薄膜的附着力和厚度，延长了不锈钢的金属基底表面类金刚石(DLC)薄膜的耐磨损寿命，工艺简单，尤其适用于1Cr18Ni9Ti、Cr12、9Cr18、40Cr等不锈钢的金属精密零件表面耐磨损处理的规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 不锈钢 金属表面 镀制类 金刚石 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于包括下列步骤：a.将金属工件固定在电弧离子镀膜设备真空室内的工件转盘上并抽真空；b.将氩气通入真空室，并保持真空度的稳定，然后开启离子源将金属工件表面活化；c.关闭氩气，将金属工件和真空室之间加载负偏压，开启钛电弧源使金属工件表面沉积钛过渡层；d.将氮气通入真空室，并保持真空度的稳定，使金属工件表面沉积氮化钛过渡层；e.开启石墨电弧源，设定石墨电弧源的初始放电频率，并控制石墨电弧源每放电一定脉冲数适当提高放电频率使金属工件表面沉积碳氮化钛过渡层；f.关闭氮气、钛电弧源，控制石墨电弧源的放电脉冲数使金属工件表面沉积类金刚石薄膜。
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