[发明专利]干涉仪有效
| 申请号： | 200710043623.7 | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101082776A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 刘国淦;段立峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J9/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机投影物镜检测的干涉仪。本发明的干涉仪包括第一偏振分光镜，分位于第一偏振分光镜入光面一侧的分别用于引入参考光和测量光的两个准直透镜组，位于第一偏振分光镜出光面的第二、第三偏振分光镜，第一偏振分光镜与第三偏振分光镜之间配置二分之一波片和四分之一波片，第一偏振分光镜与第二偏振分光镜之间配置四分之一波片。利用本发明的干涉仪可准确得测得物镜的波前误差、放大率、畸变、场曲，并可减小光学检测元件的尺寸，而且制造简单，检测精度高且操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种干涉仪，其特征在于，包括：第一偏振分光镜，位于第一偏振分光镜入光面一侧的分别用于引入参考光和测量光的两个准直透镜组，位于第一偏振分光镜出光面的第二、第三偏振分光镜，第一偏振分光镜与第三偏振分光镜之间配置二分之一波片和四分之一波片，第一偏振分光镜与第二偏振分光镜之间配置四分之一波片。
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