[发明专利]一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法无效
| 申请号： | 200710044210.0 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101100396A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;郝喜红 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;许亦琳 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的制备方法技术领域。本发明所述的高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法，采用溶胶凝胶法配制前驱溶液，采用旋转涂覆的方式在LaNiO3/SiO2/Si或LaNiO3/Si基片上涂覆凝胶膜；然后将凝胶膜在450℃-500℃放置5～20分钟，取出后冷却，再涂覆下一层，循环往复直到获得所需厚度的薄膜；再将涂覆好的薄膜在500℃下处理，最后溅射上电极。本发明利用溶胶凝胶的方法，以LaNiO3/SiO2/Si或LaNiO3/Si为基底，使凝胶膜在钙钛矿结构的LaNiO3电极材料的诱导下在450℃下结晶，再在500℃下长大，使薄膜具有良好的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含量 复合 反铁电 薄膜 低温 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法，包括如下步骤：a、采用溶胶凝胶法配制不同组分的(Pb0.97La0.02)(Zr1-x-ySnxTiy)O3(x≤0.45，y≤0.10)的前驱溶液，前驱体溶液的最终浓度控制在0.05-0.3M；b、采用旋转涂覆的方式在LaNiO3/SiO2/Si或LaNiO3/Si基片上涂覆凝胶膜，将涂覆好的凝胶膜在450℃-500℃放置5～20分钟，取出后冷却至室温，再涂覆下一层凝胶膜，循环往复直到获得所需厚度的薄膜；c、再将涂覆好的薄膜在450℃-500℃下处理30-60分钟，最后溅射上电极。
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