[发明专利]磁流体隔热装置及隔热系统有效
| 申请号： | 200710044555.6 | 申请日： | 2007-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101358653A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王刚;高文良;亢健;吴雨强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43;F16D1/076 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁流体隔热装置及隔热系统，所述的隔热装置用于连接磁流体装置的导磁轴和一晶舟支撑轴，其包括：通过固定元件与导磁轴连接的第一法兰，通过固定元件与晶舟支撑轴连接的第二法兰，设置在第一和第二法兰之间的隔热层，以及用于将第一法兰、隔热层和第二法兰依次连接的锁固元件。采用本发明的隔热装置可有效防止真空反应室加热器产生的热量传递到磁流体装置中，从而避免工作温度过高对磁流体装置造成的损害。此外，通过增设一真空管道将磁流体装置附近空间产生的粉尘颗粒抽走，可避免真空反应室内的晶圆受到污染。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 隔热 装置 系统 | ||
【主权项】：
1、一种磁流体隔热装置，用于连接磁流体装置的导磁轴和一晶舟支撑轴，其特征在于，所述隔热装置包括：通过固定元件与导磁轴连接的第一法兰，通过固定元件与晶舟支撑轴连接的第二法兰，设置在第一和第二法兰之间的隔热层，以及用于将第一法兰、隔热层和第二法兰依次连接的锁固元件。
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