[发明专利]一种浓缩化学机械平坦化浆料产品及其使用方法有效
申请号: | 200710044585.7 | 申请日: | 2007-08-03 |
公开(公告)号: | CN101358125A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 徐春 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;H01L21/304 |
代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203上海市浦东新区张江高科*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种浓缩化学机械平坦化浆料产品:该产品中影响其他成分浓缩的成分为独立分装;及其使用方法:设所述的浓缩化学机械平坦化浆料产品共有n个独立分装部分,每个部分的浓缩倍数依次为A1、A2……An;使用时按下述比例进行稀释混合:浓缩部分1∶浓缩部分2∶……浓缩部分n∶去离子水=(1/A1)∶(1/A2)∶……∶(1/An)∶(1-1/A1-1/A2-……-1/A2),即可。本发明的浓缩化学机械平坦化浆料产品可提高浓缩比,并大大延长了浓缩化学机械平坦化浆料的使用寿命,克服了现有技术中制备浓缩化学机械平坦化浆料的瓶颈问题,极大的降低了产品制造,运输,贮备等方面成本,具有较高的经济价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 浓缩 化学 机械 平坦 浆料 产品 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
1.一种浓缩化学机械平坦化浆料产品,其特征在于:该产品中影响其他成分浓缩,或者易受其他浓缩成分影响,或者在浓缩状态下不稳定的成分为独立分装。
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