[发明专利]一种消除探针针迹偏移的方法无效
| 申请号： | 200710044851.6 | 申请日： | 2007-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101368990A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 陈泰江;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种消除探针针迹偏移的方法，其特征在于，包括如下步骤：A)将晶圆置于探针机器上；B)定位晶圆；C)判断晶圆的定位是否有误差，如有误差，执行步骤D)；如无误差，执行步骤E)；D)针迹检查，并对探针位置进行调节；E)利用测试机器对晶圆进行各项参数测试；F)卸载晶圆。本发明用于集成电路制造，可极大地减小电性参数的测量结果的误差，并避免晶圆的报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 探针 偏移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种消除探针针迹偏移的方法，其特征在于，包括如下步骤：A)将晶圆置于探针机器上；B)定位晶圆；C)判断晶圆的定位是否有误差，如有误差，执行步骤D)；如无误差，执行步骤E)；D)针迹检查，并对探针位置进行调节；E)利用测试机器对晶圆进行各项参数测试；F)卸载晶圆。
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