[发明专利]延伸静态膨胀法真空标准装置校准下限的方法

摘要

本发明公开了一种延伸静态膨胀法真空标准装置校准下限的方法，其装置是在高真空校准室上增设非蒸散型吸气剂泵及阀门，其方法是通过非蒸散型吸气剂泵可使高真空校准室达到10^－8Pa的超高真空，在1×10^－6Pa～1×10^－3Pa范围内校准时，打开非蒸散型吸气剂泵，在大于1×10^－3Pa范围内校准时，关闭非蒸散型吸气剂泵。本发明利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，采用惰性气体作为校准气体，既维持了超高真空本底，又不改变校准室的有效抽速，消除了静态膨胀法真空标准装置器壁吸放气效应的影响，使得该装置校准下限得以延伸，同时提高了校准精度。

主权项

1.一种延伸静态膨胀法真空标准装置校准下限的方法，其装置包括高真空校准室(11)、低真空校准室(7)、小容器(5)和(9)、压力计(2)和(16)、隔断阀(3)、(4)、(6)、(8)、(10)和(12)、抽气机组(1)和(15)，抽气机组(1)通过隔断阀(3)与低真空校准室(7)连接，低真空校准室(7)通过隔断阀(6)与小容器(5)连接，低真空校准室(7)通过隔断阀(8)与小容器(9)连接，小容器(5)通过隔断阀(4)与压力计(2)连接，小容器(9)通过隔断阀(10)与高真空校准室(11)连接，抽气机组(15)通过隔断阀(12)与高真空校准室(11)连接，高真空校准室(11)上接压力计(16)，其特征在于所述高真空校准室(11)通过超高真空角阀(13)连接有非蒸散型吸气剂泵(14)；其延伸上述装置校准下限的方法包括下列步骤：a、启动抽气机组(1)、(15)，从装置中抽出气体；b、对高真空校准室(11)、低真空校准室(7)、小容器(5)、(9)进行烘烤除气，烘烤温度以均匀速率逐渐升至200℃后，保温48小时，然后再以均匀速率逐渐降至室温；c、在烘烤最高温度保持期间，打开超高真空角阀(13)，对非蒸散型吸气剂泵(4)进行激活，激活2小时后停止，并关闭隔断阀(10)，继续抽气，直至压力计(16)显示高真空校准室(11)内达到10-8Pa数量级的超高真空；d、将校准气体引入到小容器(5)、(9)中，并利用压力计(2)测量小容器(5)内气体压力，计算出低真空校准室(7)或高真空校准室(11)的压力；e、在1×10-6Pa～1×10-3Pa范围内校准时，打开非蒸散型吸气剂泵(14)及超高真空角阀(13)，在大于1×10-3Pa范围内校准时，关闭非蒸散型吸气剂泵(14)及超高真空角阀(13)。