[发明专利]超高真空蝶阀及其启闭方法

摘要

一种涉及阀门的装置及其蝶门开启的方法，尤指一种应用于真空技术领域，覆盖国防，航天，电子，机械，食品，冶金等方面；蝶门的启闭过程中有明显节流效果的超高真空蝶阀及其蝶门开启的方法。该装置包括：滚珠螺母副、阀体、蝶门、阀杆和销轴等，组合为一完整的蝶阀，该蝶门开启的方法通过“关门状态的自锁”、“偏转运动”、“旋转运动”和“开门状态的自锁”的复合轨迹通孔的阀杆结构实现；主要解决如何提升蝶阀的应用指标，使蝶阀真空漏率指标达到超高真空指标等技术问题。本发明的积极效果：该装置的结构合理，既能达到超高真空性能，又具有体积精小，成本低和使用寿命长的优点。

主权项

1. 一种超高真空蝶阀，该装置主要有手轮、阀体和蝶门，与阀体活动配合的阀杆与蝶门之间为传动连接，其特征在于还包括：滚珠螺母副、阀体(19)、蝶门(14)阀杆(8)、波纹管组件(6)、密封圈和销轴(15)，各部件依托在阀体(19)的不同部位，相互连接和联系，组合为一完整的超高真空蝶阀，其中：一手轮(2)与阀杆(8)的小端通过推力轴承A(1)和推力轴承B(3)连接在一起，在作轴向直线运动的阀杆(8)上套设有与滚珠螺母副作固定密封连接的波纹管组件(6)，波纹管组件(6)与阀杆(8)作固定密封配合，阀杆(8)上设有复合轨迹螺旋通孔(30)；一阀杆(8)穿过波纹管组件(6)，并露出一段小端圆柱体，在波纹管组件(6)的小端内孔与阀杆(8)小端圆柱体之间安装有一组波纹管小端密封圈(5)，在波纹管组件(6)的大端安装有波纹管大端密封圈(7)，波纹管组件(6)的大端与波纹管大端密封圈(7)一起被压紧在钢球护架(9)的内孔底端平面上，小端静密封和大断静密封之间通过波纹管组件(6)紧密的连接在一起；阀杆(8)轴向移动时，阀杆(8)的小端连同波纹管组件(6)的小端一起对波纹管进行压缩或拉伸，所述小端静密封和大端静密封与波纹管动密封组合为动静密封相结合的结构；一蝶门(14)的下端配有一个球头转轴(16)，通过球头转轴(16)与阀体(19)的一个圆孔配合连接，为球型支撑结构，蝶门(14)的另一端是两个固定的轴承座，在轴承座上装有向心轴承A(13)和向心轴承B(17)，蝶门密封圈(18)通过蝶门(14)安装在阀体(19)内；一圆柱滚动体销轴(15)的两端限位于蝶门(14)上两个固定轴承座上，外侧通过向心轴承A(13)和向心轴承B(17)支撑在轴承座上，销轴(15)穿过阀杆(8)的复合轨迹螺旋通孔(30)，销轴(15)的柱面与复合轨迹螺旋通孔(30)的两侧螺旋面始终相切，且为线性相切，销轴(15)柱面上的母线为相切线，形成柱面支撑结构，并与阀杆(8)相连接。