[发明专利]氧化锌薄膜制备方法无效
| 申请号： | 200710046153.X | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101125676A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 何刚;吴紫阳;蔡金华 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料技术领域的氧化锌薄膜制备方法，步骤为：第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合，然后去塞，加入乙二醇，持续加热并搅拌，待溶液冷却后，加入乙醇并于保温。第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物，过程重复以达到目标厚度，最后退火。本发明采用改进的水基Pechini方法制备出了高质量的ZnO薄膜。除了采用去离子水作为溶剂外，乙醇被用来改善前驱体溶液的性质以提高薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，混合溶液在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子Zn2+充分络合，然后去塞，加入乙二醇，溶液持续加热并搅拌直到剩余溶液阳离子Zn2+浓度为0.7M，待溶液冷却后，加入乙醇并于水浴中具塞保温；第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物，过程重复以达到目标厚度，最后退火。
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