[发明专利]一种放电气体环境离子真空规管辅助仪器无效
| 申请号： | 200710046174.1 | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101126668A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 徐旭;李林森;周前红;梁荣庆 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30;H01J41/02 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于真空测量技术领域，具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括：两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极；在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压，实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉，能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题，提高其测量稳定性和准确度，可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量，同时配合离子真空规管使用，测量放电气体的电离度，规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点，是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 放电 气体 环境 离子 真空 辅助 仪器 | ||
【主权项】：
1.一种放电气体环境电离真空规管辅助仪器，其特征在于，包括如下结构单元：一个金属网状结构的离子屏蔽电极(1)；一个与金属网状结构的离子屏蔽电极平行设置的金属网状结构的电子屏蔽电极(2)；离子屏蔽电极(1)和电子屏蔽电极(2)两者构成第一级离子屏蔽，电子屏蔽电极(2)与真空室器壁(3)之间构成第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱(7和6)分别设置于离子屏蔽电极(1)和电子屏蔽电极(2)以及电子屏蔽电极(2)与真空室器壁(3)之间，使三者相互绝缘；一个仪器安装接口(5)设置于电子屏蔽电极(2)外侧，用于与真空室电离真空规管接口(4)对接；在离子屏蔽电极(1)和电子屏蔽电极(2)之间施加电压V1，在电子屏蔽电极(2)与真空室器壁(3)之间施加电压V2。
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