[发明专利]光刻胶供应装置有效
| 申请号： | 200710046491.3 | 申请日： | 2007-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101398626A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王俊;唐建峰;程亮;刘智波 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻胶供应装置，包括，用于存储光刻胶的存储容器；连通所述存储容器，用于暂存存储容器输出的光刻胶的第一暂存容器；连通所述第一暂存容器，用于暂存第一暂存容器输出的光刻胶的第二暂存容器；以及用于探测第一暂存容器中光刻胶状态的第一感应器，其中，所述第一感应器的探测位置高于从所述第二暂存容器向所述第一暂存容器回流的光刻胶所能到达的最高位置。所述光刻胶供应装置可以避免由于气泡随光刻胶回流至第一暂存容器的感应器所监控的传输管道中而引起感应器的误报警，从而避免了影响光刻工艺的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 供应 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种光刻胶供应装置，包括：用于存储光刻胶的存储容器；连通所述存储容器，用于暂存存储容器输出的光刻胶的第一暂存容器；连通所述第一暂存容器，用于暂存第一暂存容器输出的光刻胶的第二暂存容器；以及用于探测第一暂存容器中光刻胶状态的第一感应器，其特征在于，所述第一感应器的探测位置高于从所述第二暂存容器向所述第一暂存容器回流的光刻胶所能到达的最高位置。
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