[发明专利]亚表面缺陷的检测方法无效
| 申请号： | 200710046646.3 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101135654A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张伟;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N1/32 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种亚表面缺陷的光学检测新方法，其步骤为：先将同种或异种材质样品端面进行精密抛光，后以光胶胶合形式将两精密抛光端面贴合而形成一整体样品。对该整体样品与光胶面垂直的表面进行研磨加工之后，对样品稍加热分离样品，轻度腐蚀光胶端面扩展闭合亚表面缺陷，借助测量显微镜观察与研磨面相交的光胶面边端进行亚表面缺陷形貌和深度测量。与已有的亚表面缺陷检测方法相比，本发明方法不需要任何特殊设备装置，具有原理简单，成本低廉，测量结果直观，检测速度快的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.本发明的亚表面缺陷的检测方法，特征在于包括下列步骤：①先将同种或异种材质样品的用于胶合的端面进行精密抛光；②以光胶胶合形式将两精密抛光面贴合以形成整体样品；③对整体样品与光胶面相垂直的表面进行研磨；④将整体样品稍加热以分开光胶面；⑤使用5％的氢氟酸对光胶面轻度腐蚀，以显现出微裂纹；⑥借助测量显微镜观察与研磨面相交的光胶面的边端，实施亚表面缺陷形貌和深度测量。
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