[发明专利]双向分束器、使用其的对准系统及使用该系统的光刻装置

摘要

本发明公开了一种双向分束器、使用该分束器的对准系统及使用该系统的光刻装置，通过在像面探测对准标记的±1级衍射光相干成像经参考光栅调制后的光强变化，同时在光瞳面探测对准标记的高级次衍射光的相同级次的正、负级衍射光斑重叠相干的各级次干涉信号强度变化，产生的信号有较强工艺适应性、高灵敏度和高信噪比，由信号的位相信息得到对准标记的位置信息。并且，该对准系统采用基于一个双向分束器和两个级结合干涉仪的正、负级次衍射光斑重叠相干系统结构和原理，有效降低了级结合干涉仪的设计、加工和装调的难度。

主权项

1.一种用于光刻装置的对准系统的双向分束器，其特征在于：包括反射区域和透射区域，所述反射区域完全反射入射光，所述透射区域完全透过入射光。