[发明专利]一种大口径非球面镜全场检测方法无效
| 申请号： | 200710048201.9 | 申请日： | 2007-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN1995943A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 苏显渝;赵文川;张启灿;向立群;曹益平;陈文静 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种大口径非球面镜全场检测方法，通过计算机控制电控平移台移动干涉仪(例如菲索型干涉仪)，沿非球面镜对称轴对大口径非球面镜进行连续扫描测量，获取全场随时间变化的干涉条纹，即三维干涉条纹。连续扫描过程中，干涉仪产生的参考球面波前将与被测非球面自动匹配，最佳匹配区域(环形区域)对应低频可分辨的干涉条纹，随扫描过程在非球面镜上从中心向边缘移动。对三维干涉条纹进行数据处理，提取干涉条纹的最佳匹配点数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形全场信息。本发明具有无需设计和制造非球面补偿器、无需进行子孔径拼接等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的全场检测提供了一种有效的手段，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 球面镜 全场 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种大口径非球面镜全场检测方法。其特征在于：通过计算机控制电控平移台移动干涉仪或者被测非球面镜，使干涉仪光轴和被测非球面镜光轴在重合的条件下实现相对连续扫描测量，获取全场随时间变化的干涉条纹，即三维干涉条纹。连续扫描过程中，干涉仪产生的参考球面波前将与被测非球面自动匹配，最佳匹配区域(环形区域)对应低频可分辨的干涉条纹，随扫描过程在非球面镜上从中心向边缘移动。对三维干涉条纹进行数据处理，提取干涉条纹的最佳匹配点数据进行全孔径波前重建，从而获得被测非球面面形全场信息。
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