[发明专利]柔性铰链电容传感器机芯及使用该机芯的传感器

摘要

本发明公开了一种量具柔性铰链电容传感器机芯，包括电容传感器的主栅板和副栅板，以及将测量量转换成主栅板和副栅板之间测量量的机械结构，所述机械结构包括固定装置和活动装置，副栅板和主栅板分别固装于活动装置和固定装置的对应位置，固定装置与活动装置之间由柔性铰链连接；所述活动装置以柔性铰链为支撑装置呈杠杆状铰装于固定装置上，或者所述活动装置相对于固定装置上下做直线往复运动。本发明活动装置和固定装置之间的支撑点是一个弹性的柔性体，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性。本发明还公开了具有所述柔性铰链电容传感器机芯的柔性铰链杠杆电容角位移传感器、可调式数显卡规、杠杆表和千分表。

主权项

1、柔性铰链电容传感器机芯，包括电容传感器的主栅板和副栅板，以及将测量量转换成主栅板和副栅板之间相对位移量的机械结构，其特征在于：所述机械结构包括固定装置和活动装置，副栅板(4)和主栅板(3)分别固装于活动装置的从动端及固定装置上对应位置处，固定装置与活动装置之间由柔性铰链连接；所述柔性铰链由至少两片支撑弹片(7)构成，各支撑弹片(7)均为一端与固定装置连接，另一端与活动装置连接；各支撑弹片(7)面均与主、副栅板(3、4)面垂直。