[发明专利]膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统

摘要

本发明涉及一种膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统。它包括薄膜、下球头式摆杆、一级气室、二级气室、防渗透膜、阻尼液、支撑外壳、中间壳、内壳；下球头式摆杆的上端与光学平台接触，下球头式摆杆的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜分为上下两层，下层充填阻尼液，上层为一级气室，一级气室的顶端设置有薄膜；支撑外壳与中间壳的外壁之间设置有二级气室。膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，是采用超薄膜片气囊，双气室小孔空气阻尼，球头无磨擦摆动，不挥发性高效阻尼液，而共同构成的系统。为光学平台提供超低的固有频率，以避开环境振动引起的共振，从而得到良好的隔振效果。

主权项

1、膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，其特征在于：该膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统包括薄膜(1)、下球头式摆杆(2)、一级气室(3)、二级气室(4)、防渗透膜(5)、阻尼液(6)、支撑外壳(7)、中间壳、内壳；下球头式摆杆(2)的上端与光学平台接触，下球头式摆杆(2)的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜(5)分为上下两层，下层充填阻尼液(6)，上层为一级气室(3)，一级气室(3)的顶端设置有薄膜(1)；支撑外壳(7)与中间壳的外壁之间设置有二级气室(4)。