[发明专利]多晶硅原料低能耗提纯制备方法无效

专利信息
申请号: 200710052244.4 申请日: 2007-05-22
公开(公告)号: CN101122046A 公开(公告)日: 2008-02-13
发明(设计)人: 罗应明;郭力 申请(专利权)人: 晶湛(南昌)科技有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00;C30B29/06
代理公司: 南昌洪达专利事务所 代理人: 刘凌峰
地址: 330013江西省南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种多晶硅原料低能耗提纯制备方法,首先将经还原处理的金属硅粉碎,再用王水、氢氟酸等酸洗,酸洗后送入连熔炉熔融,连熔炉内温度形成水平温度梯度和垂直温度梯度,从连熔炉出来的硅材料进入区熔炉,使区熔炉内形成区间温度梯度,运用热趋法排除硅碴,即可得到99.9999%纯度的硅。本发明的优点是:利用传统工艺设备连熔炉进行改造,使炉内形成水平温度梯度和垂直温度梯度,大幅度降低能耗和提升产能;工艺步骤少,操作简单,适用于所有的连熔炉。
搜索关键词: 多晶 原料 能耗 提纯 制备 方法
【主权项】:
1.一种多晶硅原料低能耗提纯制备方法,其特征是制备方法如下:首先将经还原处理的金属硅粉碎,再用王水、氢氟酸等酸洗,酸洗后送入连熔炉熔融,连熔炉中间通入冷却水管,进行水冷却,采用充氮隔离空气,使炉内温度形成水平温度梯度和垂直温度梯度,从连熔炉出来的硅材料进入区熔炉,使区熔炉内形成区间温度梯度,运用热趋法排除硅碴,即可得到99.9999%纯度的硅。
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