[发明专利]室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200710052544.2 | 申请日： | 2007-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101096594A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 杨艳芹;李颂战;王水兵;刘丰;祁玉兰 | 申请（专利权）人： | 武汉科技学院 |
| 主分类号： | C09K11/54 | 分类号： | C09K11/54;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 武汉天力专利事务所 | 代理人： | 程祥;冯卫平 |
| 地址： | 430073湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射法，以高纯度的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。本发明工艺简单，操作控制方便，此方法制备的ZnO薄膜适合于短波长发光器件的研究、开发，可应用于信息存储、光通信、医疗等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 室温 发射 光和 紫光 氧化锌 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜，由下述方法制得：采用射频磁控溅射法，以溅射仪为沉积设备，以纯度≥99.0％的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，产生的溅射粒子在电磁场作用下沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。
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