[发明专利]取样传递机械手

摘要

本发明属于机械手技术领域，涉及一种取样传递机械手，包括外腔，夹持单元，金属片，铁块，机械按钮，磁缸，固定在真空室墙壁上的金属波纹管；外腔穿过固定在真空室墙壁上的金属波纹管伸入真空室，由于该金属波纹管为软管，使外腔可以在任意方向上摆动，并且夹持单元可以依靠磁缸与铁块的磁场力沿金属外腔的纵向移动，因此可以实现在水平和垂直方向上将样品从一个工作单元转移到另一个工作单元；在移动样品的过程中，可以通过机械按钮使夹持单元一直能够夹紧样品，极大地提高了取样的成功率和生产效率。本发明结构简单、重量轻，取样速度快，移动样品灵活、方便，特别适用于高真空系统的取样与样品传递。

主权项

1、一种取样传递机械手，其特征在于包括外腔，夹持单元，金属片，柱状纯铁铁块，机械按钮，磁缸，固定在真空室墙壁上的金属波纹管；夹持单元、金属片，铁块安装在外腔内；外腔穿过固定在真空室墙壁上的金属波纹管伸入真空室；夹持单元的末端通过金属片与铁块连接；在外腔的侧壁上与固定在真空室墙壁上的金属波纹管相邻处加工有圆孔，在圆孔处安装机械按钮；磁缸套在外腔上。