[发明专利]波导光开关及其制作方法无效
| 申请号： | 200710055943.4 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101105553A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 鄂书林;孔光明;赵虎旦;邓文渊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/35 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维垂直耦合型波导光开关及其制作方法，波导光开关采用五层膜结构，从基底硅片至金属电极依次为下波导下包层、下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层；下波导包层和上波导包层、垂直耦合层选用聚酯类聚合物，上波导和下波导均采用环化橡胶类聚合物，两者之间的夹角为0.2°～1.8°。五层膜采用涂敷方法制作，上波导和下波导采用光刻技术，制作工艺简单、制作成本低，并且开关驱动功率低、响应速度快、消光比高、插入损耗小。本发明的波导光开关可以作为基本单元应用于大规模集成光波导回路中。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种波导光开关，包括下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层，其中下波导芯层包括下波导及下波导侧包层，上波导芯层包括上波导及上波导侧包层；其特征在于还包括下波导下包层(2)；下波导下包层(2)、下波导侧包层(3)、垂直耦合层(4)、上波导侧包层(5)、上波导上包层(6)均采用聚酯类聚合物BCB；上波导(8)和下波导(7)均采用环化橡胶类聚合物Su8。
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