[发明专利]柔性悬臂微机械光开关

摘要

本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关。开关固定端与悬臂二者为一体，位于基片上表面；开关固定端的下表面与基片上表面相接触并固定，使悬臂的一端在基片上悬浮；线圈位于悬臂上表面远离开关固定端的一端，并固定在悬臂上；线圈第一引线和线圈第二引线位于悬臂、开关固定端的上表面，并与之固定；第一个引线压点和第二个引线压点位于开关固定端上表面，并与之固定；永磁体位于线圈的正下方，基片下表面的凹坑中，并与基片接触固定；棱柱形微反射镜固定于线圈的上方。本发明的微反射镜带有夹角，具有两个功能反射面，可以满足光路两次折转的要求。

主权项

1.一种柔性悬臂微机械光开关，其特征是由基片(1)、开关固定端(2)、悬臂(3)、线圈(4)、线圈第一引线(5)、第一个引线压点(6)、线圈第二引线(10)、第二个引线压点(11)、永磁体(7)、棱柱形微反射镜(8)组成；开关固定端(2)与悬臂(3)二者为一体，位于基片(1)上表面；开关固定端(2)的下表面与基片(1)上表面相接触并固定，使悬臂(3)的一端在基片(1)上悬浮；线圈(4)位于悬臂(3)上表面远离开关固定端(2)的一端，并固定在悬臂(3)上；线圈第一引线(5)和线圈第二引线(10)位于悬臂(3)、开关固定端(2)的上表面，并与之固定；第一个引线压点(6)和第二个引线压点(11)位于开关固定端(2)上表面，并与之固定；永磁体(7)位于线圈(4)的正下方，基片(1)下表面的凹坑中，并与基片(1)接触固定；棱柱形微反射镜(8)固定于线圈(4)的上方。