[发明专利]基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法无效
| 申请号： | 200710057125.8 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101046374A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 栗大超;徐临燕;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;B81C5/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法，先通过扫描测量获取纳米梁区域的三维形貌信息，得到纳米梁上表面与基底之间的距离；再缩小扫描范围，将原子力显微镜探针精确定位在双端固支纳米梁的表面几何中心或纳米悬臂梁上表面的端部的位置上，并利用原子力显微镜探针进行垂直加载/卸载，直至纳米梁下表面与基底发生接触，即力曲线中出现转折，在加载/卸载过程中实时记录原子力显微镜的力曲线，获得纳米梁下表面与衬底之间的距离；将上述两个步骤获得的数据相减，计算出纳米梁的厚度。本发明能够实现纳米梁等一大类具有悬浮间隙的纳米结构厚度的非破坏精密测量，该方法还可实现这类纳米结构悬浮间隙高度的非破坏精密测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 原子 显微镜 曲线 纳米 厚度 破坏 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法，其特征在于，首先通过扫描测量获取纳米梁区域的三维形貌信息，得到纳米梁上表面与基底之间的距离；然后缩小扫描范围，将原子力显微镜探针精确定位在双端固支纳米梁的表面几何中心或纳米悬臂梁上表面的端部两者之一的位置上，并利用原子力显微镜探针进行垂直加载/卸载，直至纳米梁的下表面与基底发生接触，即力曲线中出现转折，在加载/卸载过程中实时记录原子力显微镜的力曲线，获得纳米梁下表面与衬底之间的距离；最后，根据上述两个步骤中获得的测量数据，计算出纳米梁的厚度。
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