[发明专利]大视场物体微观表面三维形貌的测量系统及其测量方法无效
| 申请号： | 200710057416.7 | 申请日： | 2007-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101050949A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 张红霞;张以谟;井文才;贾大功;李晓静 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种大视场物体微观表面三维形貌的测量系统及其测量方法，系统有光源，聚光系统、第一分光镜、显微物镜、参考面、第二分光镜、压电陶瓷传感器(PZT)、被测面、精密位移平台；镜筒透镜、电荷耦合器件CCD、图像采集卡和计算机；第二分光镜、参考面及显微物镜与压电陶瓷传感器相连。方法有：开启设备；对仪器进行调焦；打开PZT开关，采集第一幅干涉图，控制PZT带动显微物镜和参考面沿光轴移动：进行多幅相移干涉图的采集；精密位移平台带动被测面移动，进行相应位置处的多幅相移干涉图的采集；导出实验数据；进行图像滤波，去噪，相位提取，解包裹，拼接处理，得到其三维形貌。本发明为非接触测量，不损被测面，测量精度高，可应用于微表面结构的三维形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 视场 物体 微观 表面 三维 形貌 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种大视场物体微观表面三维形貌的测量系统，包括有光源(1)，其特征在于，还设置有接收光源(1)的聚光系统(2)；在聚光系统(2)的输出光的一侧设置有第一分光镜(3)；在第一分光镜(3)的下侧依次设置有显微物镜(4)、参考面(5)、第二分光镜(6)、、被测面(7)、以及移动被测面(7)的精密位移平台(8)；在第一分光镜(3)的上侧依次设置有镜筒透镜(10)、电荷耦合器件CCD(11)、图像采集卡(12)和计算机(13)；第二分光镜(6)，参考面(5)及显微物镜(4)分别与压电陶瓷传感器(9)相连。
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