[发明专利]复合式微加速度计无效
| 申请号： | 200710061572.0 | 申请日： | 2007-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101017180A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 熊继军;郭涛;张文栋;刘俊;马游春;张斌珍;李丽华;毛海央;翟成瑞 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00;F42B15/01 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 张彩琴 |
| 地址： | 030051山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加速度计单元按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架为整体。本发明不但能同时感测4种不同的加速度信号，而且具有很好的抗干扰能力、较高的抗过载能力和自检测功能。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
1、一种复合式微加速度计，包括四组微加速度计单元(1)，微加速度计单元(1)包括硅结构层(2)和玻璃底层(3)，硅结构层(2)由框架(4)、质量块(5)、固支梁(6)构成，框架(4)上开有通孔(7)，通孔(7)中部设质量块(5)，质量块(5)两侧分别通过两个固支梁(6)与框架(4)连接，每个固支梁(6)上设有两个压敏电阻(8)，硅结构层(2)底部开有深槽(9)，通孔(7)与深槽(9)之间设有浅槽(10)；质量块(5)的厚度小于框架(4)的厚度；浅槽(10)的深度等于框架(4)与质量块(5)的厚度差；质量块(5)下方的玻璃底层(3)上设置电极(11)，深槽(9)下方的玻璃底层(3)上设置压焊点(13)，电极(11)和压焊点(13)通过穿于浅槽(10)内的金属引线(12)连接，其特征在于所述四组微加速度计单元(1)按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻(8)沿固支梁(6)的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻(8)沿固支梁(6)的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架(4)为整体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710061572.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
