[发明专利]复合梁压阻加速度计无效
| 申请号： | 200710061739.3 | 申请日： | 2007-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101034094A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;石云波;崔永俊;李孟委;杨玉华;孟美玉 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑框体中间的质量块，弹性梁的端部扩散有压敏电阻，硅基支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，质量块由框体和通过连接梁固定于框体内的质量芯块构成。本发明结构合理，能同时满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，并且具有高抗过载能力。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 梁压阻 加速度计 | ||
【主权项】：
1、一种复合梁压阻加速度计，包括硅基支撑框体(1)、弹性梁(2)、通过弹性梁(2)支悬于硅基支撑框体(1)中间的质量块，弹性梁(2)的端部扩散有压敏电阻(3)，硅基支撑框体(1)下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖(4)，其特征在于质量块由框体(5)和通过连接梁(6)固定于框体(5)内的质量芯块(7)构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710061739.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有一个装在支座内的传感器的超声换能器
- 下一篇：半导体器件及其制造方法
