[发明专利]一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法

摘要

本发明涉及一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法。本发明采用共沸精馏的方法分离提纯NF₃气体，得到高纯NF₃产品气体，将原料气体与共沸剂通入精馏塔，在其中不断进行气液接触，杂质形成与产品气沸点相差较大的共沸物，该共沸物从塔顶蒸出进入第二个精馏塔以回收共沸剂；而共沸剂与NF₃的混合物则从塔釜采出进入第三个精馏塔；利用共沸剂与NF₃沸点的差异在塔顶得到高纯NF₃产品气体，而在塔底回收共沸剂。本工艺设置了两塔回收共沸剂，节约共沸剂用量，工业实际价值高。本方法突破了常规精馏的局限，将CF₄杂质含量降低至20ppm，同时降低了冷凝剂的使用量，具有设备简单、成本低、效率高的优点。

主权项

1、一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法，其特征在于包括下列步骤：使含CF4杂质的原料气体由阀门进入I号精馏塔，共沸剂经阀门进入I号精馏塔，I号精馏塔塔釜温为-73℃～-120℃，顶温为-80℃～-120℃，若塔釜温度过高则共沸剂易从塔顶蒸出，来不及与CF4形成共沸物，若塔釜温度过低则塔内无法形成气液两相，塔釜压力为0.1MPa～1.6MPa，共沸剂与原料气体在塔内进行气液接触，共沸剂与CF4形成最低共沸物从I号精馏塔顶采出，分两部分：一部分气体从I号精馏塔顶的冷凝器经阀门回流，一部分气体经阀门进入II号精馏塔；II号精馏塔的压力为0.0MPa～1.5MPa，塔底温度为-75℃～-130℃，顶温为-85℃～-130℃，由II号精馏塔的塔顶得到少量CF4，II号精馏塔的塔底共沸剂则经阀门通过管路回收至I号精馏塔再利用；I号精馏塔的塔底部共沸剂与NF3的混合物经管路进入III号精馏塔，III号精馏塔的塔压力为0.0MPa～1.4MPa，塔底温度为-78℃～-130℃，顶温为-88℃～-130℃，塔顶得到CF4杂质含量20ppm以下的产品气体，塔底的共沸剂由阀门经管路回收至I号精馏塔再利用。