[发明专利]线性防偏摆双腔室空气弹簧

摘要

线性防偏摆双腔室空气弹簧，主要用于超精密试验台、超精密机床和光学平台等设备的隔振。本发明的主要技术特征是活塞的下部通过迷宫式密封与压圈密封配合；活塞的中部与压圈构成空气轴承，从而达到了抛弃传统橡胶密封方式的目的。该线性防偏摆双腔室空气弹簧由迷宫密封或磁流体密封代替了橡胶密封，消除了橡胶对空气弹簧固有频率和阻尼特性的极大影响，然后通过活塞上空气轴承的气膜均化作用，可以使活塞始终保持在气缸的中心，消除了活塞和负载的安装偏心问题，避免了偏摆振动，最后由于排除了橡胶的弹性影响因素，因此完全可以设计出固有频率极低的双腔室空气弹簧。

主权项

1.一种线性防偏摆双腔室空气弹簧，含有缸体(9)、活塞(1)、设置在缸体顶部且与活塞配合的压圈(2)以及设置在缸体内的隔板(8)，该隔板将缸体内腔分割成上腔室(15)和下腔室(13)，其特征在于：所述活塞的下部通过非接触式密封与压圈(2)密封配合；活塞的中部与压圈构成空气轴承，该空气轴承包括均布在压圈中部的径向工艺孔(26)、开在该工艺孔末端的气浮轴承节流孔(22)以及与所述工艺孔相连通的环槽(27)，该环槽顶部用密封环(17)密封，在任一工艺孔上安装第二气嘴(28)。