[发明专利]一种真空旋转升降装置无效
| 申请号： | 200710062730.4 | 申请日： | 2007-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101224862A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张之山 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B66F19/00 | 分类号： | B66F19/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;任红 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空旋转升降装置，其核心为：在轴向上增加了一个转动伺服电机(28)，通过丝杠传动平台(24)的传动端(241)带动转动伺服电机(28)作上下往复运动，再通过转动伺服电机(28)驱动连接轴(26)作轴向旋转运动，这样连接轴(26)不但能够作上下往复运动，又能够作轴向旋转运动，从而可以带动承载托盘(12)也作相应的运动，达到调整承载托盘(12)上产品位置的目的，且扩大了调整范围，使机械手能够更好的发挥作用，更加有利于产品的制作和运输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 旋转 升降 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空旋转升降装置，包括伺服电机(13)，丝杠传动平台(24)和连接轴(26)，伺服电机(13)驱动丝杠转动平台(24)的传动端(241)作上下往复运动，其特征在于，还包括转动伺服电机(28)，所述的丝杠传动平台的传动端(241)与转动伺服电机(28)相连，带动转动伺服电机(28)作上下往复运动；转动伺服电机(28)的输出轴与连接轴(26)的一端相连，驱动连接轴(26)作轴向旋转运动。
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