[发明专利]一种纳米间隙电极的制备方法

摘要

一种纳米间隙电极制备方法，步骤如下：在不受电子束破坏的纳米材料上制备具有较大间隙的电极对；在电极对的表面吸附电子束诱导沉积的原料分子；将电子束聚焦在电极对的间隙区域；当电极间隙达到所需的宽度时，停止电子束照射，制备得到纳米间隙电极。本发明与传统的方法相比，可以在制备过程中原位观察电极间隙，从而可以精确控制纳米间隙电极的间隙。同时操作方便，简易可行，成功率高，有利于提高纳米间隙电极的制备效率，制备的纳米间隙电极的间隙范围很大，可以为2纳米至100纳米，这对于纳米以及分子器件的制备和应用有非常重要的意义。

主权项

1.一种纳米间隙电极制备方法，其具体步骤如下：a)在不受电子束破坏的纳米材料上制备具有较大间隙的电极对；b)在电极对的表面吸附电子束诱导沉积的原料分子；c)将电子束聚焦在电极对的间隙区域；d)当电极间隙达到所需的宽度时，停止电子束照射，制备得到纳米间隙电极。