[发明专利]一种用于椭偏测量中的光强调节方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于椭偏测量装置中光强调节的装置，包括在椭偏测量装置中还包括一线性偏振器12、用于固定线性偏振器12的中空的偏振器旋转台13、一数据采集器43、一控制箱41以及一电子计算机42；线性偏振器12放置在椭偏测量装置入射光轴上，处于线性起偏器14前，并与线性起偏器14的方位角有一个差θ(0°≤θ≤90°)。在进行光强调节时，由电子计算机42发出指令给控制箱41，控制箱41驱动偏振器旋转台13带动线性偏振器12围绕入射光轴旋转，从而改变线性偏振器12和线性起偏器14的方位角的夹角θ。在进行测量时，始终保持θ不变。该发明提供了对光强进行连续的大范围内的调节，且结构简单。

主权项

1.一种用于椭偏测量装置中光强调节的装置，包括：一入射旋转臂(1)，该入射旋转臂(1)可围绕中心轴进行旋转，用于改变入射光轴与样品(20)之间的夹角；一样品旋转台(2)和出射旋转臂(3)，入射旋转臂(1)的末端与出射旋转臂(3)的前端重叠在一起，样品旋转台(2)安置在其上并通过样品旋转台(2)的轴将三者连接，样品(20)安装在样品旋转台(2)上，样品垂直于入射面，并且其表面通过中心轴；一用于可进行波长扫描的、准单色光输出的单色光发生装置(10)，该输出的光束用于照明待测样品；一准直透镜(11)，用于将单色光发生装置(10)产生的光进行准直、扩束；一用于将探测光束变换为偏振方向可控的线偏振光的线性起偏器(12)，该线性起偏器(12)安装在单色光发生装置(10)和准直透镜(11)产生的扩展探测光的光路上；一个反射式平面样品(20)，该样品(20)为一个平的反射式的平面块状或薄膜材料，用于样品接收来自入射部分产生的准直、准单色的偏振光波的照明，并对该光波的偏振态进行调制；一用于对样品(20)的反射光偏振态进行调制的线性检偏器(31)，该线性检偏器安装在出射光轴上；一个图像传感器(34)，用于接收样品经成像物镜所成的实像，并将其转化为电信号；一数据采集器(43)，与光电探测器(34)和电子计算机(42)电连接，用于接收光电探测器(34)得到的电信号，将其转换成电子计算机(42)能够处理的数字信号；一电子计算机(42)，与数据采集器(43)和控制箱(410电连接，用于接收数据采集器(43)的信号，对其进行处理分析，根据分析的结果对控制箱(41)发出运动指令，同时接收来自控制箱(41)的运动位置反馈信号；一控制箱(41)，与电子计算机(42)和运动部件电连接，用于接收来自电子计算机(42)发出的运动指令，接收来自各器件的状态反馈，将信号反馈回电子计算机(42)中进行处理，以及驱动运动部件运动；其特征在于，还包括一固定在偏振器旋转台(13)中的线性偏振器(12)，该线性偏振器(12)共中心轴地安装在入射旋转臂(1)光轴上，并置于所述的线性起偏器(14)前，用于把探测光波转换成线性偏振光；偏振器旋转台(13)上的电机与控制箱(41)电连接并受其驱动，可带动线性偏振器(12)进行360°旋转，改变线性偏振器(12)与线性起偏器(14)的方位角的差θ，该方位角的差为0°≤θ≤90°。