[发明专利]光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列探测器有效
| 申请号： | 200710062983.1 | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101229911A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;李超波;陈大鹏;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01J5/02;G01J5/38 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外成像系统中非制冷红外焦平面阵列探测器技术领域，公开了一种光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列探测器，该探测器由微悬臂梁单元采用相互覆盖平铺嵌套的方式构成，所述微悬臂梁单元包括红外吸收板、热变形结构和支撑梁，所述热变形结构与支撑梁固定连接，所述红外吸收板与热变形结构位于不同的平面内且固定连接；每个微悬臂梁单元的红外吸收板覆盖在另一个与之相邻的微悬臂梁单元的热变形结构的上方，形成相互覆盖平铺嵌套的微悬臂梁单元阵列。利用本发明，克服了图形区硅衬底对红外线反射的问题，提高了探测灵敏度，解决了器件象素面积偏大的问题，提高了探测的分辨率和清晰度。 | ||
| 搜索关键词： | 机械式 双层 结构 制冷 红外 成像 平面 阵列 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种光-机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，该探测器由微悬臂梁单元采用相互覆盖平铺嵌套的方式构成，所述微悬臂梁单元包括红外吸收板(1)、热变形结构(2)和支撑梁(3)，所述热变形结构(2)与支撑梁(3)固定连接，所述红外吸收板(1)与热变形结构(2)位于不同的平面内且固定连接；每个微悬臂梁单元的红外吸收板(1)覆盖在另一个与之相邻的微悬臂梁单元的热变形结构(2)的上方，形成相互覆盖平铺嵌套的微悬臂梁单元阵列。
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