[发明专利]表面处理方法及用该方法处理的工件无效
| 申请号： | 200710063072.0 | 申请日： | 2007-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101029382A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 徐健;张云龙;程云立 | 申请（专利权）人： | 北京东方新材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100096北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种通过物理气相沉积对易氧化工件进行强化的方法以及用该方法处理的工件，包括：(1)在真空下采用载能离子轰击工件表面以去除氧化膜；(2)在工件表面沉积一层厚度为0.01－2微米的不易氧化的金属(Au、Pt等)或是能形成保护性氧化膜的金属(Al、Cr、Ni、Ti等)；(3)将工件加热至所需温度；(4)再次用载能离子轰击工件表面以去除步骤(2)中沉积的金属和(或)氧化膜；(5)以常规物理气相沉积方法在工件表面沉积一层或多于一层硬质膜层或其他膜层。本发明提供的表面处理方法通过升温前在工件表面沉积的不易氧化或是能形成保护性氧化膜的金属，很好地限制了工件表面氧化膜的厚度，能避免易氧化工件在物理气相沉积处理过程中因表面生成氧化膜而导致膜层结合不牢的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 方法 工件 | ||
【主权项】：
1.一种表面处理方法，包括以下步骤：(1)将工件装入真空室，将真空室抽至背底真空，通过载能离子轰击工件表面以去除氧化膜；(2)在工件表面沉积一层不易氧化的金属或是能形成保护性氧化膜的金属；(3)将工件加热至所需温度；(4)再次用载能离子轰击工件表面以去除步骤(2)中沉积的金属和(或)氧化膜；(5)以常规物理气相沉积方法在工件表面沉积一层或多于一层硬质膜层或其他膜层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京东方新材科技有限公司，未经北京东方新材科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710063072.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
