[发明专利]实现大功率激光二极管堆光束整形的装置

摘要

本发明为实现大功率激光二极管堆光束整形的装置，属于激光技术领域。本装置包括含有m个芭条的激光二极管堆、由m行n列反射镜组成的叠堆形阶梯反射镜(2)和第二阶梯反射镜(4)，激光二极管堆的每个芭条分别与叠堆形阶梯反射镜(2)的每行反射镜相对应，第二阶梯反射镜(4)位于叠堆形阶梯反射镜(2)的正上方。来自激光二极管堆每个芭条的、经过快轴准直后的光斑(1)被叠堆形阶梯反射镜(2)反射至快轴方向，并在慢轴方向上被分割成n段，同时消除了芭条之间的暗区。该n段光束被第二阶梯反射镜(4)反射，使得光束旋转90度，实现了光束整形。本发明改善了大功率半导体激光二极管堆的光束质量，达到了光束整形的目的。

主权项

1、实现大功率激光二极管堆光束整形的装置，其特征在于：本装置主要包括有含有m个芭条的激光二极管堆、由m行n列反射镜组成的叠堆形阶梯反射镜(2)和第二阶梯反射镜(4)，激光二极管堆的每个芭条分别与叠堆形阶梯反射镜(2)的每行反射镜相对应，第二阶梯反射镜(4)位于叠堆形阶梯反射镜(2)的正上方；来自激光二极管堆的每个芭条的、经过快轴准直后的光斑(1)被叠堆形阶梯反射镜(2)反射至快轴方向，并在慢轴方向上被分割成n段，该n段光束被第二阶梯反射镜(4)反射，并使得光束旋转90度，实现光束整形；所述的叠堆形阶梯反射镜(2)为一个m行n列的阶梯反射镜阵列，行数m与大功率激光二极管堆的芭条数m相同，叠堆形阶梯反射镜(2)沿慢轴方向的宽度d5和快轴方向的高度d6都与激光二极管堆光斑相同；其中，每行中的n个反射镜均沿着光的传输方向Z2依次前后错开d3的距离，每列中的m个反射镜均沿着快轴方向依次上下错开d1的距离，在行、列均形成阶梯反射镜，m×n个反射镜的反射面均与对应的芭条慢轴方向成45度，每个反射镜在快轴方向上的高度d2与每个芭条快轴方向的光斑大小d2相同，每个反射镜的镜面宽度为d4，每行中的反射镜沿着光传输方向Z2前后错开的阶梯深度d3等于激光二极管堆快轴方向光斑大小的总和d3＝m.d2，每列阶梯反射镜在光轴方向Z2上的宽度也为d3。各行阶梯反射镜之间沿着快轴方向的垂直高度d1与芭条之间不发光区的宽度d1相同；所述的第二阶梯反射镜(4)位于叠堆形阶梯反射镜(2)的正上方，包括有n个反射镜，n个反射镜在第二阶梯反射镜(4)反射的光轴方向Z4上依次前后错开d4的距离，前后错开阶梯的深度d4与叠堆形阶梯反射镜(2)的每个镜面宽度d4相同，第二阶梯反射镜(4)的各个反射面与快轴方向均成45度角。每个反射镜沿其快轴方向的宽度为d3，与激光二极管堆快轴方向光斑大小的总和d3＝m.d2相同，也等于叠堆形阶梯反射镜(2)在其光轴方向Z2上的阶梯深度d3，第二阶梯发射镜(4)中的各个反射镜分别与叠堆形阶射镜(2)的每一列反射镜相对应，这样使来自每一列的反射光束能够经过对应的反射镜反射。