[发明专利]一种气敏传感器标定和可靠性测试系统有效
| 申请号： | 200710063698.1 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101241093A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文;陈大鹏;景玉鹏;欧毅;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及气敏传感器测试技术领域，公开了一种气敏传感器标定和可靠性测试系统，该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔、真空测试腔和传感器电参量测量装置；所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的控制下进入气体混合腔进行预混合，然后进入真空测试腔；所述真空测试腔中放置有待测气敏传感器，所述传感器电参量测量装置与真空测试腔连接，用于测试真空测试腔中待测气敏传感器的性能。利用本发明，解决了现有动态气敏元件性能测试装置存在的不足之处，实现了对待测气体浓度的精确控制、对不同气体的测试，以及对器件温度的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 标定 可靠性 测试 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔(5)、真空测试腔(6)和传感器电参量测量装置(16)；所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的控制下进入气体混合腔(5)进行预混合，然后进入真空测试腔(6)；所述真空测试腔(6)中放置有待测气敏传感器(15)，所述传感器电参量测量装置(16)与真空测试腔(6)连接，用于测试真空测试腔(6)中待测气敏传感器(15)的性能。
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