[发明专利]一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置

摘要

一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，包含一中央转动装置，该装置包括：一石墨托盘，为一盘状；一石墨支撑杆；一传动轴杆，上端与石墨支撑杆连接；一支撑管；一支撑件，上端与支撑管连接；一支撑座，与支撑件连接；一联轴器，其上端与传动轴杆插接连接；一中心调节器，为一筒状，两端具有法兰；一三通排气管，位于中央转动装置上的支撑座上，中央转动装置穿过该三通排气管的两端，该三通排气管通过法兰与中心调节器连接；一石英管反应生长室，石英管反应生长室罩扣于中央转动装置，并与三通排气管固定；一磁力旋转装置，位于中心调节器的下方，通过传动轴与中央转动装置的联轴器连接。

主权项

1. 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其包含有：一中央转动装置，该中央转动装置包括：一石墨托盘，为一盘状用于感应加热和放置实验用衬底样片；一石墨支撑杆，用于支撑石墨托盘；一传动轴杆，上端与石墨支撑杆螺纹连接，通过传动轴杆的转动带动石墨托盘旋转；一支撑管，为中空用以固定传动轴杆；一支撑件，上端与支撑管连接；一支撑座，与支撑件连接；一联轴器，联轴器的上端与传动轴杆插接连接，通过联轴器的转动带动传动轴转动，进而带动感应加热体旋转；一中心调节器，该中心调节器为一筒状，两端具有法兰；一三通排气管，该三通排气管位于中央转动装置上的支撑座上，该中央转动装置穿过该三通排气管的两端，该三通排气管通过法兰与中心调节器连接；一石英管反应生长室，该石英管反应生长室罩扣于中央转动装置，并与三通排气管固定；一磁力旋转装置，该磁力旋转装置位于中心调节器的下方，通过传动轴与中央转动装置的联轴器连接。