[发明专利]一种制备掺钴氧化锌纳米阵列的方法无效

专利信息
申请号: 200710065219.X 申请日: 2007-04-06
公开(公告)号: CN101033547A 公开(公告)日: 2007-09-12
发明(设计)人: 张跃;张晓梅;顾有松;黄运华 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00;C23C20/00;C23C14/08
代理公司: 北京科大华谊专利代理事务所 代理人: 刘月娥
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种制备掺钴氧化锌纳米阵列的方法,属于纳米材料制备技术领域。工艺步骤为:首先将硅片用金刚石刀裁剪成片,放到培养皿中;取纯锌粉和氯化钴粉末以1∶1至1∶2的重量比混合;在管式炉中反应,得到硅片上沉积上一层浅灰色的产物;用扫描电子显微镜观察硅片上沉积的为纳米阵列。本发明的优点在于:制备方法简单,成本低,可控可靠性高。制备温度较低,整个制备过程不需要任何催化剂作用。优点在于,所做出的一维掺钴氧化锌纳米阵列,表面平滑,生长均匀,可作为场发射性能应用及低温磁学器件应用的理想材料。
搜索关键词: 一种 制备 氧化锌 纳米 阵列 方法
【主权项】:
1、一种制备掺钴氧化锌纳米阵列的方法,其特征在于,工艺步骤为:a、首先将硅片用金刚石刀裁剪成片,放到培养皿中,在培养中倒入酒精,以完全浸没硅片;浸泡10-30分钟后将硅片拿出,在空气中风干;b、取纯锌粉和六水氯化钴粉末,以1∶1~1∶2的重量比混合;混合粉末在研钵中研磨,达到均匀混合,作为原料备用;c、将管式炉,升温到780-810℃,并在整个操作中持续保持这个温度;当管式炉温度达到780-810℃后,在管式炉中石英管的一端接入氩气和氧气混合气体;氩气的流量控制在180-220sccm范围内,氧气流量为氩气的3-5%;d、在瓷舟的中部位置放入步骤b中准备好的原料,平铺在瓷舟的底部,然后,将硅片的正面倒放在原料的正上方;e、通入混合气体,在确保管式炉达到780-810℃,管内通入混合气体10-20分钟后,从石英管的另一端口,把载有原料的瓷舟放入石英管的中心加热区,进行反应;30-40分钟后取出瓷舟,得到硅片上沉积着一层浅灰色产物;f、用扫描电子显微镜观察硅片上沉积的为纳米阵列。
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